Uned Gwahanu Aer Nwy lled-ddargludydd Uchel-purdeb

Uned Gwahanu Aer Nwy lled-ddargludydd Uchel-purdeb

Mewn gweithgynhyrchu sglodion lled-ddargludyddion, mae nitrogen purdeb uchel, argon ac ocsigen yn "ddeunyddiau crai anweledig" mewn prosesau allweddol megis ffotolithograffeg, ysgythru, dyddodiad a phecynnu. Mae eu purdeb yn pennu cynnyrch a pherfformiad sglodion yn uniongyrchol. Mae'r uned gwahanu aer nwy purdeb uchel lled-ddargludyddion hon, sydd wedi'i haddasu'n benodol ar gyfer y diwydiant lled-ddargludyddion, yn trosoli ei alluoedd craidd triphlyg o "puro dwfn + ultra-rheolaeth lân + cyflenwad sefydlog" i gynhyrchu nwyon purdeb uchel gyda phurdeb o 99.99999% (7N) ac uwch, gyda lefelau amhuredd, Llai na 01 yn cwrdd â'r gofynion cynhyrchu yn llawn Llai na 01. wafferi 12-modfedd a phrosesau uwch.
Anfon ymchwiliad

Disgrifiad

Paramedrau technegol

Technoleg Graidd


Rhag-driniaeth lân iawn:"Hidlo tri cham + arsugniad deuol + deocsigeniad catalytig" – mae hidlyddion ULPA a rhidyllau moleciwlaidd tymheredd uchel yn tynnu dŵr (pwynt gwlith Llai na neu'n hafal i -90 gradd) a CO₂ (Llai na neu'n hafal i 0.01ppm), a phaladiwm tynnu ocsigen yn hafal i 0.01ppm, a phaladiwm catal i dynnu ocsigen. gosod y sylfaen ar gyfer distyllu.
 

Puro distyllu cryogenig:"Rhaeadru twr aml-- + pacio effeithlonrwydd uchel" - Mae'r prif dwr yn defnyddio pacio rhychog 316L ar gyfer gwahaniad cychwynnol i burdeb 5N. Ychwanegir twr mireinio nitrogen/argon i gyflawni purdeb nitrogen terfynol o 7N a phurdeb argon o 7.5N, gan ddileu amhureddau hybrin (methan Llai na neu'n hafal i 0.05ppb).

 

Triniaeth post lân iawn:Puro unigryw i atal halogiad eilaidd - mae hidlwyr PTFE yn hidlo gronynnau Yn fwy na neu'n hafal i 0.01μm, mae colofnau cyfnewid ïon yn lleihau ïonau metel, ac mae caniau carbon activated yn rheoli VOCs i Llai na neu'n hafal i 0.05ppb.
 

Rheolaeth gyflenwi sefydlog:System dolen caeëdig manwl uchel – lled-ddargludyddion gradd MFC, 316L EP-pibellau gradd (Ra Llai na neu'n hafal i 0.2μm), weldio cwbl awtomataidd (cyfradd gymwysedig 100%), yn cydymffurfio â SEMI F30.

 

Semiconductor high-purity gas air separation unit
egwyddor gweithio
 
 
 

Egwyddor rhagdriniaeth gyfansawdd aml-gam

Cysylltiad tri cham o "hidlo + arsugniad + catalysis": Mae hidlyddion ULPA a rhidyllau moleciwlaidd tymheredd uchel yn tynnu dŵr (pwynt gwlith Llai na neu'n hafal i -90 gradd) a CO₂ (Llai na neu'n hafal i 0.01 ppm), tra bod catalyddion palladiwm yn gosod y sylfaen ar gyfer ocsigen, yn gosod llai o 1 neu'n llai na'r ocsigen. purdeb uchel.

 
 

Egwyddor distyllu oer dwfn a gwahanu ffracsiynol

Gan fanteisio ar y gwahaniaethau pwynt berwi rhwng ocsigen, nitrogen, ac argon, defnyddir colofnau lluosog mewn cyfres ar gyfer puro: mae'r brif golofn, gyda phacio 316L, yn cyflawni gwahaniad cychwynnol i 5N; mae'r golofn buro nitrogen/argon (-196 gradd ) yn cael gwared ar amhureddau hybrin, gan gyflawni crynodiadau nitrogen o 7N yn y pen draw a chrynodiadau argon o 7.5N (methan Llai na neu'n hafal i 0.05 ppb).

 
 

Egwyddor atal llygredd hynod o {0}bost glân-triniaeth

Mae puro perchnogol yn atal halogiad eilaidd: mae hidlwyr PTFE, colofnau cyfnewid ïon yn lleihau ïonau metel (Llai na neu'n hafal i 0.01 ppb), ac mae caniau carbon activated yn rheoli VOCs i Llai na neu'n hafal i 0.05 ppb, gan sicrhau glendid nwy.

 
 

Uchel-Manylder Ar Gau-Egwyddor Rheoli Cludo Dolen

"Rheolaeth Cywirdeb Uchel + Pibellau Glân": Mae pibellau gradd lled-ddargludyddion gradd MFC a 316L EP (Ra Llai na neu'n hafal i 0.2μm) yn cael eu weldio'n gwbl awtomatig i sicrhau cludo sefydlog a phurdeb di-lol.

 


 

 

FAQ

 

 


 

1. A ellir addasu'r purdeb nwy a gynhyrchir gan yr offer hwn i ofynion gwahanol brosesau lled-ddargludyddion?

Gallwn addasu atebion purdeb yn seiliedig ar ofynion proses penodol. Trwy addasu'r broses tŵr mireinio a modiwlau ôl-brosesu, gallwn gyflawni allbwn sefydlog sy'n bodloni gofynion prosesau 14nm. Gellir optimeiddio nwyon purdeb uchel ar gyfer prosesau uwch, gan gynnwys y rhai isod, ar gyfer uwchraddio prosesau yn y dyfodol heb fod angen amnewid offer yn gyfan gwbl.
 

2. Sut allwn ni atal halogiad nwy eilaidd yn ystod gweithrediad offer? Mae cynhyrchu lled-ddargludyddion yn gofyn am lefelau glanweithdra hynod o uchel.

Sicrheir hyn mewn dwy ffordd: Yn gyntaf, mae system driniaeth uwch-lân un pwrpas yn cael gwared ar ronynnau bach ac ïonau metel trwy brosesau fel uwch-hidlo a chyfnewid ïon. Yn ail, mae'r broses ddosbarthu yn defnyddio deunyddiau pibellau arbenigol a thechnegau weldio optimaidd i leihau arsugniad amhuredd ar y waliau pibellau, gan atal halogiad nwy eilaidd trwy gydol y broses gyfan.
 

3. Yn ystod gweithrediad offer, gall llif nwy a amrywiadau pwysau effeithio ar brosesu lled-ddargludyddion. Sut allwn ni sicrhau paramedrau sefydlog?

Mae system rheoli dolen gaeedig fanwl uchel, ynghyd â rheolydd llif proffesiynol ar gyfer -addasu paramedr amser real a dyluniad pibellau wedi'i optimeiddio, yn rheoli amrywiadau llif a phwysau yn effeithiol, gan sicrhau paramedrau cyflenwad nwy sefydlog sy'n bodloni gofynion manwl gywir prosesau lled-ddargludyddion.
 

4. A yw cynnal a chadw offer yn gymhleth? A fydd cynnal a chadw yn effeithio ar weithrediad parhaus y llinell gynhyrchu lled-ddargludyddion?

Mae'r broses cynnal a chadw symlach yn caniatáu rhybudd cynnar o waith cynnal a chadw cydrannau craidd trwy fonitro ar-lein. Mae'r system hefyd yn cefnogi "prefabrication all-lein + cysylltiad ar-lein." Gyda model cynnal a chadw cynhwysfawr, dim ond amser segur byr sydd ei angen ar gyfer cynnal a chadw critigol, a bydd cynllun cyflenwi nwy dros dro yn cael ei ddatblygu i leihau aflonyddwch i'r llinell gynhyrchu.

 

5. Os bydd y fab lled-ddargludyddion yn ehangu cynhwysedd yn y dyfodol, a ellir ehangu'r offer presennol? A yw'r ehangu hwn yn anodd?

Mae'r offer wedi ymgorffori-mewn pyrth ehangu. Mae ehangu cynhwysedd yn gofyn am ychwanegu'r modiwlau mireinio cyfatebol a'r cydrannau cludo yn unig, heb ddatgymalu'r system ddistyllu craidd. Perfformir cyfrifiadau proses manwl a gwaith paratoi cyn ehangu, gan arwain at gyfnod adeiladu byr ar-y safle a chyn lleied â phosibl o gymhlethdod, gan alluogi addasu cyflym i anghenion twf capasiti.

 

Tagiau poblogaidd: uned gwahanu aer nwy lled-ddargludyddion uchel-purdeb, uned gwahanu aer nwy lled-ddargludol uchel Tsieina, cyflenwyr, ffatri

Anfon ymchwiliad

Cysylltwch

Ysgrifennwch Eich Neges